CIF離子濺射儀

CIF離子濺射儀是一款專為貴金屬及合金材料鍍膜研制的較高精度設(shè)備，集*控制技術(shù)與人性化設(shè)計(jì)于一體，可實(shí)現(xiàn)高效且穩(wěn)定的濺射鍍膜工藝。廣泛適用于科研實(shí)驗(yàn)與精密制造領(lǐng)域，為用戶提供高質(zhì)量、一致性高的鍍膜效果。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

u 智能觸控，數(shù)據(jù)可視：7英寸彩色觸摸屏，支持中英文界面，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并調(diào)控工藝參數(shù)；可存儲(chǔ)20組配方程序，數(shù)據(jù)全程可追溯，確保工藝標(biāo)準(zhǔn)化與重復(fù)性。

u 靈活操控，雙模式適配： PLC控制系統(tǒng)，支持手動(dòng)/自動(dòng)切換，適應(yīng)多樣應(yīng)用場(chǎng)景，操作更自由。

u 控氣，工藝兼容性強(qiáng)：氣體流量自動(dòng)調(diào)節(jié)，內(nèi)置質(zhì)量流量計(jì)，控制氣體流量（0-500sccm），支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾榷喾N工藝氣體，滿足多樣化鍍膜需求。

u 均勻鍍膜，一致性高：樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)（0–50rpm可調(diào)）并具備高度調(diào)節(jié)功能（15–50mm），顯著提升膜層均勻性與一致性，適配多種靶材。

u 人性化設(shè)計(jì)，操作舒適：60°傾角操作面板，符合人機(jī)工程學(xué)，界面清晰簡(jiǎn)潔，操作流暢便捷。

u 低溫處理，樣品無損：鍍膜過程中樣品溫度維持在40–50℃，有效避免熱損傷與熱氧化，保留樣品本征特性。

u 潔凈防護(hù)，避免污染：配備氣體返填吹掃與HEPA高效過濾系統(tǒng)，防止污染物殘留，確保鍍膜環(huán)境潔凈可靠。

u 多重安全保障：艙門開啟自動(dòng)斷電，內(nèi)置多項(xiàng)安全保護(hù)機(jī)制，使用更安心。